设备型号

主要参数

MQP-3001

MQP-5001Q

MQP-6001

MQP-7001

MQP-8001

MQP-9001

电压

三相380V 50Hz

功率

6Kw

       6kw

6Kw

8Kw

10Kw

10Kw

外形尺寸

2000*1500*1000mm

3000*1800*1500mm

腔体尺寸

Φ320*H320mm

Φ500*H700mm

Φ550*H750mm

Φ650*H800mm

Φ750*H900mm

Φ850*H900mm

适用材料

型号；Parylene N/C/D/F

成膜速率

C型≥5 μm/h   N型≥0.8 μm/h   D型≥5 μm/h   F型≥5 μm/h

沉积膜层厚度

0. 001-100 μm

0. 1-50 μm

膜厚均匀性

优于2%

优于5%

腔室真空度

≤ 2.0 * l^-2Torr

配套装置

1、表面预处理偶联剂工艺1套，促进Parylene膜层与基材的附着力。

2、腔体内带载物治具，可以滚镀、摆镀、吊镀，任意选用。

安全装置

设备带有自锁功能，设备在运行过程中出现异常，设备会报警并且停止运行。

主要结构

设备系统主要有真空抽气及测量系统、蒸发室、裂解室、

沉积室加热系统、高温石英管管道系统、冷阱过滤系统，PLC控制系统及辅助系统等组成。