派瑞林实验涂敷机

电压

三相380V 50Hz

力量

3KW

5KW

8KW

10KW

10KW

外形尺寸

2000*1500*1000mm

3000*1800*1500mm

型腔尺寸

ø320*320mm

ø550*700mm

ø650*800mm

ø750*900mm

ø850*900mm

适用材料

型号: Parylene N/C/D/F

成膜率

C型≥5µm/h   N 型≥0.8µm/h   D   型≥5µm/h   F   型≥5µm/h

沉积膜厚度

0.001-100µm

0.1-50µm

涂层厚度均匀度

优于 2%

优于 5%

腔体真空度

≤3.0*1^-2Torr

配套设备

1、表面预处理偶联剂工艺1套，促进Parylene膜层与基材的附着力。2、腔体内带载物治具，可以滚镀、摆镀、调镀，任意选用。

安全设备

设备具有自锁功能，运行过程中若出现异常，设备将报警并停止运行。

MainStru  

主要结构

主要由抽真空及测量系统、真空腔系统、蒸发室、裂解室、沉积室加热系统、高温石英管系统、冷阱过滤系统、PLC控制系统及辅助系统组成。